Page 14 - (주)에이브람스
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v PFCs 처리장치 [PFCs scrubber]
l 개요 l 사용 가능한 공정 l 특징
구분 Plasma Burn wet Heat wet Dry
처리 대부분 가스 PFCs를 제외한 대부분 가스
가스
적용 - Diffusion - Diffusion - Ion Implant
공정 - Deposition - Deposition - Etching
- Etching (Metal)
가스 PFCs, PFCs, 가연성 독성
특징 가연성 가연성
l 과거실적 l 실적 처리 플라즈마 + 연소+ 산화+ 물리 또는
방법 습식처리 습식처리 습식처리 화학흡착
장점 처리효율 높음 - 다량의 파우더 - 유지보수 용이
혼합가스 처리 가능 처리 가능 - 운전 용이
거의 모든 가스 처리 가능 - 처리용량 큼 - 안전사고 위험
- 유지비 저렴 적음
- 안전사고 위험
적음
단점 - 배기라인 분석 - 별도 연료가 - 할로겐 가스 - 공정에 따라
발생 필요 처리 난해 유지비용 높음
- 시스템 안전화 - 주기적인 PM - 상대적으로 긴 - 파우더 생산
필요 필요 PM 시간 공정 사용 불가
- 할로겐 가스
처리 어려움
